仪器仪表工业论文_单压电执行器阵列驱动的变

文章摘要:为降低压电执行器阵列式变形镜的成本，提出了一种由单压电执行器阵列驱动的低成本变形镜。制备了19单元50mm口径的变形镜样机，建立了基于Shack-Hartmann传感器的自适应光学测试系统，并对单个执行器性能、校正性能、镜面校平性能、变形镜频率响应特性进行了表征。测试结果显示，制备的变形镜单个执行器在50V电压下波前变形量可达10μm，可精确重构前14项Zernike多项式像差，校平后远场光斑接近艾里斑，变形镜一阶固有频率约为1.8kHz。提出的单压电执行器阵列驱动的变形镜具有比较好的性能，在低成本自适应光学系统中具有应用前景。

文章关键词:

项目基金:国家自然科学基金(No.51805280),工业控制技术国家重点实验室开放课题（No.ICT2021B44）,