文章摘要:基于扫描探针技术设计搭建了一套散射式扫描近场光学显微系统。基于搭建的系统结构和近场信号探测原理，理论分析和实验讨论了不同因素的干扰、解调阶次、聚焦光斑等因素对近场光学信号提取的影响。为进一步验证装置性能，对纳米金颗粒和机械剥离的六方氮化硼样品进行了测试。结果表明，所搭建的装置实现了10 nm的空间分辨率，可以清晰地观察到六方氮化硼表面声子极化激元在传播-反射过程中形成的驻波现象，展示了该技术在低维纳米材料光学表征中应用的巨大应用潜力。
文章关键词:
项目基金:国家自然科学基金重大科研仪器研制专项(No.61427901),国家重点研发计划(No.2018YFA0704804),
